AMS503

2013年新产品即将出炉

检测功能

上海星纳电子-无接触式  厚度(Thickness)
上海星纳电子-无接触式  总厚度变化(TTV)
上海星纳电子-无接触式  平整度
上海星纳电子-无接触式  弯曲/翘曲度(Bow/Warp)

特点

上海星纳电子-无接触式


  可以检测各种材质晶片,
包括硅,蓝宝石,砷化镓, 
碳化硅,楮等
上海星纳电子-无接触式


  平台行程350*250,可以测量2-8"园形晶片,其他形状晶片亦可以定制
上海星纳电子-无接触式  无接触式高精度测量
上海星纳电子-无接触式

  测量速度快,最高可达150mm/s
上海星纳电子-无接触式

  标配白光探头,亦可以选配其他探头

应用

上海星纳电子-无接触式  蓝宝石生产厂家
上海星纳电子-无接触式  LED村底生产厂家
上海星纳电子-无接触式  半导体生产厂家

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