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总厚度变化(TTV)
翘曲度(Warp)
体电阻率(Resistivity)
断面尺寸(XY dimension)
电学型号(Type)
线痕(Saw mark)
边缘缺陷(Edge defaects)
表面缺陷(Surface defects)
刮痕/裂纹(Scratch/Crack)
特点
适用于125*125 和156
*156毫米的太阳能硅片
无接触式高精度测量
高准确和重复性
多参数,多种类自动分选
友好的人机界面简单易用
建立计数数据库便于分析
应用
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