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检测功能
多点厚度(Multi-point
Thickness)
总厚度变化(TTV)
多点体电阻率(Multi-point
bulk resistivity)
翘曲度(Warp)
电学型号(P/N)
优点
无接触测量
亚微米精度
多功能测量
快捷和可靠的操作
图像化的用户界面
实时分选
菜单式操作方式
符合国际标准
特点
厚度测量范围:
150 ~ 350 um
电阻率测量范围:
0.2 ~ 20ohm-cm
适用于 125*125 mm,
156*156mm 方片
检测速度高于1,000 wph
低碎片率
实时数据存储
数据分析功能
报告与图表打印
方便的数据输出与共享
地维护成本
应用
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出片质量控制
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