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全厚度误差(TTV)
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优点
微米级精确度和重复性
快捷和可靠的操作
友好的人机界面
坚固的检测平台
适用于生产线
特点
适用于76毫米到200毫米的
晶片
无接触测量
有效分类
实时报告
统计数据
柱状图,分布图
应用
磨/腐蚀/抛光-加工监控
最终检测
最终厚度,TTV,体电阻率
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